氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪的型号较多，锂电氦检专机维修，但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。
（1）质谱室
不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中
1）离子源
离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝（阴极）、离化室及离子加速极组成。
灯丝在真空中通电加热后发射电子，在离化室与灯丝之间的电场的作用下，电子加速穿过离化室顶部狭缝进入离化室，在离化室中与气体分子发生多次碰撞后损失能量，打到分子电离形成正离子，正离子在离化室与加速极之间的电原U（即离子加速电压）作用下，相继穿过离化室正面的矩形狭缝和加速极的矩形狭缝，由于加速电场对离子做的功转变为离子的动能，便形成具有一定能量的离子束。由于离子是由中性气体分子失去Z个带负电荷e的电子而形成的，所以离子电荷为正的Ze。由于各种气体的离子均受同一电场的加速，当它们的电荷量相等时，它们的能量相等，但由于质荷比不同，故运动速度也就不同。
氦质谱检漏仪 概述
操作方便：体积小，重量轻，结构紧凑，操作面板简单；
性能高：采用了进口检漏仪仪分了泵与的质谱系统，灵敏度度高，检测压强高，响应时间快；
功能强大：多种模自动切换，丰富的菜项，具有权限管理功能；
可靠性高：采用性的氧化钇铱灯丝提高灯丝寿命，系统具有强大的保护功能；
多种接口：外控IO，遥控器接囗以及外部规管接口等用户接囗；
氦质谱检漏仪的发展史必须追溯到上个世纪初。早在1918年期间，欧洲国家因和的需要就开始接触检漏，并开始对检漏手段的提升做了大量的基础研究工作，直到1941年，当时，科学家获知德国正在研制一种新型。这种的原理就是基于刚刚发现的铀的同位素的裂变现象。罗斯福认为必须抢先达到此目的，加之第二年的珍珠港事件加速诞生了“曼哈顿”计划。这个计划的两个目标之一就是研制（即）。为此，必须研制超高灵敏的检漏仪。其原因还得从的浓缩谈起。
天然铀中含有铀238和两种同位素。能够发生裂变反应的同位素是，是的主要原料。可是天然铀中的含量仅0.7%。为此，科学家只能采用气体扩散法，从铀238中把含量甚微的分离出来。气体扩散法分离时铀238的原理是这样的：若有一个极其微小的孔隙，部分气体分子通过这个微孔的速率取决于它们的分子量。分子量小的气体分子能够较快的通过这些微孔。如果让混合气体通过由多孔膜形成的长管，就可以成功地把两种气体分离。
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